晶圆测试仪tc wafer
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详细信息

台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案，保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。台湾菘启工业有限工公司致力于以世界一流的技术服务及时提供其创新的wafer晶圆解决方案。

TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）

温度范围：

低温：-150 to 700°C（硅基胶粘剂）

高度：-150 to 1,200°C（焊接设计）

热电偶选型：

● Type K (精度级别±1.1°C or0.4%) ，温度范围 -270 to 1,372°C
● Type N (精度级别±1.1°C or 0.4%)，温度范围 -270 to 1,300°C
● Type E (精度级别±1.0°C or 0.4%) ，温度范围 -270 to 1,000°C
● Type T (精度级别±0.5°C or 0.4%) ，温度范围 -270 to 400°C
● Type R/S (精度级别±1.5°C or 0.25%) ，温度范围 -50 to 1,768°C

晶圆材质：

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。

主要规格：

4寸，6寸，8寸，12寸

扩展线：可指定绝缘层材质，接头类型。密封的聚酰亚胺扁平电缆，可在大气中打到10-7托。长度有客户指定

传感器引线：长达40英尺–可定制

绝缘材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰亚胺

线规：20 AWG – 40 AWG